ITO高速成膜镀膜机

高速成膜卷绕ITO镀膜机，是面向柔性电子行业的卷对卷(R2R)真空镀膜量产设备，主要在PET、PP、P等柔性塑料薄膜基材上连续镀制ITO 氧化铟锡透明导电膜，也可实现金属、功能化合物膜层制备。设备镀膜工艺稳定，膜层附着力优异，具备高精度、高生产效率、工艺重复性好的优势，适合ITO导电膜量产加工。设备采用单面沉积工艺、离子源前处理、隔离室防污染结构，攻克柔性基材镀膜褶皱、掉膜、膜层均匀性差、批次一致性差等行业痛点;卷膜整幅方阻均匀性突破行业瓶颈，实现±5%高精度控制，搭配高精度张力导膜系统与高真空系统，保障大批量连续生产，兼顾产能、良率与工艺可复制性，适配触控、显示、新能源柔性 ITO导电膜规模化生产。

产品分类：

真空设备

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产品描述

技术特点
- 方阻均匀性突破行业瓶颈，整幅可达±5%：依托高精度张力控制系统、稳定真空环境与离子源辅助工艺，大幅降低幅向内方阻偏差;不同厚度PET基材均可稳定实现方阻均匀性±5%，同时透过率均匀性控制±5%，减少产品分选损耗，提升量产良率。
- 离子束前处理工艺：采用离子源对薄膜基材做等离子活化轰击，显著提升ITO膜层附着力、致密度、膜层均匀性，减少PET基材上掉膜、白雾、针孔不良，成品信赖性大幅提升。
- 隔离腔室防污染结构：卷绕室与镀膜室设置独立隔离室，有效阻隔跨腔杂质污染，稳定镀膜真空环境，降低膜层缺陷，适合长时间不间断量产。
- 高精度闭环卷绕走膜系统：伺服恒张力控制，高精度导膜机构，规避薄膜拉伸、褶皱;成品膜卷端面整齐，走膜边缘偏差≤+2.5mm，适配薄至4.5um柔性基材。
- 优异真空性能，保障ITO膜纯度：镀膜室极限真空<5x10~4Pa;空载抽气大气至7x10~2Pa≤30min;装载PET基材烘烤除气后抽至8x10-3Pa≤60min;腔体真空稳定，降低氧化瑕疵。
- 工艺指标稳定可控，量产可复现：方阻、可见光透过率双指标高精度管控，多批次生产工艺重复性好，降低后段筛选成本。
- 模块化整机配置，可按需拓展：真空系统、卷绕系统、离子源、加热、气路水路模块化，可根据客户工艺需求做定制化调整。
应用
- 电子行业：柔性ITO导电膜、触控薄膜、柔性电路基材镀膜
- 光学领域：光学透光导电膜、光学功能镀层
- 包装、装饰防伪、汽车建筑：功能性导电、装饰镀层加工
- 新能源领域：新能源柔性器件导电薄膜