股票代码
688383
- 产品描述
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设备特点
- 外延设单腔/多片（最大3×8Inch）+洁净真空机械手搬运；
- 各盘独立控温，控温精度高； •水平层流布气+分子泵排气，控制气体分布均匀；
- 工艺进程实时监控，精准控制参数。
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