HAD812-D点胶固晶

1、双点胶系统采用直线电机模式； 2、高精度直线驱动固晶绑头,音圈扭力环精确控制固晶压力； 3、高精度搜寻芯片平台，伺服电机驱动芯片角度矫正系统，配备12寸晶圆自动扩膜系统； 4、采用点胶独立控制系统，胶量控制更加精确； 5、划胶图形自主编辑，选取图形种类较多; 6、采用真空漏晶检测； 7、工控机控制设备运行，简化了自动化设备的操作； 8、精准的自动化设备为企业提高生产效率，降低成本提供了有效保障，从而切实有效地提高了企业竞争力； 9、垂直点胶采用高精度光栅读头测高，Z轴直线电机驱动，点胶前后检测使用相机垂直检测方式，提高胶点检测的精准度； 10、有自动上料功能，能同时兼容料盒上料和堆栈上料； 11、可选配自动更换wafer，或UPLOOK底部识别功能

产品分类：

半导体 HAD812-DDCO

4000-688-383

hoson@szhech.com

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产品描述

规格参数

1.系统功能/System Function
UPH	MAX 17K(Depending On Die Size And Holder)
固晶精度/Accuracy	Standard：±20μm With uplook：±15μm
晶片旋转/Die Rotation	芯片尺寸≥1mm：±1° 芯片尺寸＜1mm：±3°
2.晶片XY工作台/Die XY Workbench
晶片尺寸/Die Dimensions	15mil×15mil-200mil×200mil(0.38mm0.38mm-5.08mm5.08mm)
晶片尺寸/Die Dimensions	15mil×15mil-200mil×200mil(0.38mm0.38mm-5.08mm5.08mm)
晶片最大角度修正/Max. Angle Correction	±15°
适用晶片铁环尺寸/Max. Die Ring Size	外径(External Diameter):400mm 内径(Inner Diameter)：350mm
最大晶圆面积尺寸/Max. Die Area	12″(Expanded)直径320mm（扩张后）兼容8″
分辨率X/Resolution X	0.04mil (1μm)
分辨率Y/Resolution Y	0.04mil (1μm)
顶针Z高度行程/Thimble Z Height Stroke	3mm
3.点胶XY工作台/Dispenser Work table
分辨率X/Resolution X	0.04mil (1μm)
分辨率Y/Resolution Y	0.04mil (1μm)
分辨率Z/Resolution Z	0.04mil (1μm)
4.图像识别系统/Image Recognition System
灰阶度/Grey Scale	256级灰度(Level Grey)
分辨率/Resolution	720×540像素(Pixels)
分辨率/Resolution	720×540像素(Pixels)
5.吸晶邦头机械手系统/Die Bonder’s Swing Arm-and-hand system
直线旋转邦头/Die Bonder	直线电机往复固晶，邦头旋转/linear motor reciprocate die bonding
吸晶压力/Die Bond Pressure	30-300gf （±5gf）
6.适用框架尺寸/Suitable Holder’s Size
框架长度/Length	110mm ~ 300mm
框架宽度/Width	30mm ~ 110mm
框架厚度/Thickness	0.12-2mm
7.所需设施/Facilities Needed
电压/频率/Voltage/Frequency	220V AC±5%/50HZ
压缩空气/Compressed Air	0.5MPa（MIN）
额定功率/Rated Power	1600W
耗气量/Gas Consumption	40L/min
适用铁环/晶圆Suitable Iron ring/ wafer	标配 14寸铁环(12寸晶圆)/Standard Equipped with14 Iron Ring （12″）Wafer


	可兼容 10寸铁环（8寸晶圆）/Compatible with 10″Iron Ring （ 8″Wafer）
	可兼容 10寸铁环（8寸晶圆）/Compatible with 10″Iron Ring （ 8″Wafer）
适用针筒规格Suitable Barrel Spec.	标配10CC(可兼容5CC和30CC)/Standard Equipped with 10CC, (Compatible with 5CCand 30CC)
8.体积及重量/Volume and Weight
长x宽x高/Length x Width x Height	170×145×152cm(不含显示器)
重量/Weight	1250kg